Hálfleiðari framleiðslu er iðnaðarferli sem krefst mikillar nákvæmni, með því að treysta á öflugt vatn sem spannar kjarnastig eins og hreinsun á skífu, ljósritun, ætingu og efnafræðilegri vélrænni planarization (CMP). Vatnskerfi með háhæð fyrir ör rafeindatækni verða að uppfylla ströng viðmið, þ.mt viðnám sem er meiri en eða jafnt og 18,2 MΩ · cm og heildar lífrænt kolefni (TOC) minna en eða jafnt og 1 ppb. Allar leifar jónir eða agnir geta dregið úr flísafrakstri. Nýta sér leiðandi keramikhimnutækni sína og allsherjarferli, Taihe umhverfisverndes mjög stöðugar lausnir fyrirhálfleiðari öfug osmósukerfiS, sem styðja á áhrifaríkan hátt öryggi vatnsgæða í innlendum hálfleiðara birgðakeðjum.
Tæknileg bylting allsherjarferlis
Kjarnatækni Taihe-„All-himna ferli til að meðhöndla öfugt osmosis þykkni og blóðrás frárennslis“-var löggilt af samtökum Kína himnaiðnaðarins sem „alþjóðlega háþróað stig“. Þessi tækni notar sérhæfða pípulaga keramik -síun himna (GM) einingar til að koma í stað þriggja hefðbundinna formeðferðarþrepa („basa úrkomu + sandsíun + lífræn útfilga“) í einu ferli, sem er verulega einföldun verkflæðis en eflir antifouning getu. Keramikhimnur, framleiddar úr nanocomposites, sýna mengunarviðnám, sterkt basaþol og mikið flæði. Í útfjólubláu vatni til að framleiða hálfleiðara draga þau verulega úr rekstrarkostnaði og draga úr hörku frárennslis.
Umsóknarráðstafanir í lykilstigum
- Wafer hreinsun & CMP:Öfgafullt vatnsbólguvatnskerfi verður að fjarlægja agnir og málmjónir að fullu til að koma í veg fyrir galla á yfirborðsflötum. Keramikhimnuprófun Taihe rennur á skilvirkan hátt agnir sem eru meiri en eða jafnt og 0. 1 μm, sem veitir lágt SDI (Silt þéttleika vísitölu) fóðurvatn til síðari hálfleiðara öfugs osmósukerfa, sem tryggir langtíma stöðugu RO himnur aðgerð.
- Ljósmyndun skolun:Ljósmyndun er mjög viðkvæm fyrir TOC. Kerfið Taihe samvirkar keramikhimnur með útfjólubláum ófrjósemisaðgerðum til að stjórna TOC innan 1 ppb og uppfylla kröfur „núllþol“ um lífræn efni í skolun ljósmynda.
- Æting & CMP afturköllun frárennslis:For high-turbidity CMP wastewater, its ceramic membrane units demonstrate strong impact resistance, treating high-salinity wastewater with hardness >1.200 mg\/l við 95% batahlutfall, sem dregur verulega úr neyslu ferskvatns.
Greindur og græn kolefnishættir
Taihe samþættir DCS (dreifð stjórnkerfi) Stórfelld samþætt stjórnkerfi í útfjólubláu vatnshreinsunarkerfi, sem gerir kleift að fylgjast með rauntíma eftirliti með breytum vatnsgæða og hagræðingu orku. „All-himna ferli þess fyrir endurheimt vatnsnotkun búnaðar“ var skráð í grænum lágkolefnistækni í Shandong héraði og minnkaði kolefnislosun með straumlínulaguðum ferlum sem eru í takt við sjálfbæra þróunarþörf í hálfleiðara geiranum.
Niðurstaða
Eins og háþróaðir ferlar (td 5nm, 3nm) stigmagnast kröfur um vatnsgæði,hálfleiðari öfug osmósukerfiS verður stöðugt að ýta á hreinleika mörk. Með því að byggja á „alþjóðlega háþróaðri“ keramikhimnutækni er TaiHe að flýta fyrir R & D í há-flæði keramiksítrunarhimnur fyrir rafrænt há-hreint vatnsforrit, og einfalda enn frekar formeðferð og auka skilvirkni vöru. Framtíðar nýjungar munu styrkja hálfleiðara framboðskeðju Kína og koma á áreiðanlegri, tæknilegum viðmiðum með lægri kolefnum fyrir vatnskerfi með mikla hreinleika fyrir örorkuiðnað.